Plasma Cryo Etching Process 2020
5-7 mai 2020
Rue Dupanloup - Orléans (France)
http://placep2020.sciencesconf.org
1st international workshop on Cryo Plasma Processes for Etching
Discipline scientifique : Génie des procédés - Micro et nanotechnologies/Microélectronique
- Plasmas
Lieu de la conférence